伺服系統(tǒng)精度指伺服系統(tǒng)輸出量偏離輸入量的精確程度。伺服驅(qū)動(dòng)器精度以動(dòng)態(tài)誤差、穩(wěn)態(tài)誤差和靜態(tài)誤差三種形式表示。伺服系統(tǒng)允許的偏差一般都在0.01～0.001mm，高精度伺服系統(tǒng)的偏差可達(dá)到±0.0001一±0.00005mm。伺服系統(tǒng)對(duì)分辨率也有一定的要求，系統(tǒng)分辨率取決于系統(tǒng)穩(wěn)定工作性質(zhì)和所使用的位置檢測(cè)元件。目前的閉環(huán)伺服系統(tǒng)都能達(dá)到1um的分辨率，同時(shí)數(shù)控測(cè)量裝置的分辨率可達(dá)0.1um。伺服驅(qū)動(dòng)器擁有的精確檢測(cè)裝置可以保證信號(hào)不失真。
由于被控對(duì)象各不相同，伺服驅(qū)動(dòng)器精度分類也就不同。比如在機(jī)床定位控制中，伺服系統(tǒng)精度主要是定位精度;液位控制系統(tǒng)中的液位精度;溫度控制系統(tǒng)中的溫度精度等。